普發(fā)真空（Pfeiffer Vacuum） A200L 多級(jí)羅茨真空泵
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摘要
普發(fā)真空 A200L 多級(jí)羅茨真空泵，性能卓越。具備高抽速，能快速建立真空環(huán)境，工作效率高。采用先進(jìn)技術(shù)，運(yùn)行穩(wěn)定可靠，噪音低 。結(jié)構(gòu)緊湊，安裝維護(hù)便捷。適用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜等多領(lǐng)域，為您的真空需求提供專業(yè)可靠的解決方案。
產(chǎn)品介紹
普發(fā)真空（Pfeiffer Vacuum）品牌的 A200L 多級(jí)羅茨真空泵。多級(jí)羅茨真空泵常用于需要快速抽氣和達(dá)到較高真空度的場(chǎng)合， 比如在真空鍍膜、半導(dǎo)體制造、化工制藥等工業(yè)領(lǐng)域，以及科研實(shí)驗(yàn)中的真空系統(tǒng)，可有效抽取氣體，營造滿足工藝要求的真空環(huán)境。
普發(fā)真空 A200L 是專為潔凈制程打造的高性能多級(jí)羅茨真空泵，額定抽速達(dá) 200 m³/h，能快速建立穩(wěn)定真空環(huán)境，極限壓力可低至 10?? hPa，滿足高氣流量應(yīng)用需求。
采用無接觸式轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)，壓縮腔體無需潤滑油，可生成無油無顆粒的潔凈真空，適配半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、光伏等對(duì)環(huán)境要求嚴(yán)苛的場(chǎng)景。結(jié)構(gòu)緊湊且支持水平 / 垂直進(jìn)氣口連接，能無縫集成至現(xiàn)有系統(tǒng)，大幅降低安裝調(diào)試成本。
運(yùn)行時(shí)噪音與振動(dòng)極低，平均故障間隔超 195000 小時(shí)，兼具低能耗與高可靠性，是 Load lock 腔、傳送室等場(chǎng)景的理想選擇。, 50/60 Hz
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