SF6氣體抽真空及回充真空泵

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產(chǎn)品特性：

1 .整體式缸體靜音運行

TXD系列產(chǎn)品采用整體式缸體結構，從結構上保證缸體的精度和變形對真空泵的影響，同時(shí)采用頂面切點(diǎn)圓弧設計，使產(chǎn)品的極限真空穩定在4×10 Pa以下。

2 .強制進(jìn)油系統強制潤滑可靠運行

TXD系列產(chǎn)品采用內置油泵循環(huán)強制進(jìn)油系統，對泵腔進(jìn)行強制潤滑，因此可以在入口壓強為大氣壓的情況下較長(cháng)時(shí)間工作。

3 .防返油進(jìn)氣口閥迅速關(guān)閉防止返流

TXD系列產(chǎn)品采用自動(dòng)防返油閥結構，可在停泵時(shí)自動(dòng)切斷被抽系統，保證系統的真空及不被污染。

4 .可調節氣鎮極強的水蒸汽處理能力

TXD系列產(chǎn)品裝有可調節氣鎮，保證極強的耐水蒸汽能力，有效排除可凝性氣體。

5 .大散熱設計低溫運行

結構原理：

真空泵為雙級直聯(lián)旋片式真空泵，產(chǎn)品以高可靠性、低噪音和高極限真空度為設計定位，通過(guò)采用世界的整體式泵體結構設計，強制油泵潤滑油壓控制系統，同時(shí)具有不同滲氣的氣鎮閥設計使得產(chǎn)品在不同使用環(huán)境中保持高可靠性。

用途及使用范圍：

TXD系列真空泵是真空應用領(lǐng)域中***基本的真空獲得設備，特別適用于需要獲得高極限真空低噪音環(huán)境的科研、教學(xué)、實(shí)驗室、分析儀器、醫療器械、真空鍍膜等不同真空應用領(lǐng)域。

TXD系列真空泵可作為中、低真空系統的主軸泵，也可以作為羅茨泵、擴散泵、分子泵等中高真空、超高真空系統的前級泵。

泵的技術(shù)參數如表：

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