電容薄膜真空計(jì)
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摘要
電容薄膜真空計(jì)基于彈性薄膜在壓差作用下引發(fā)電容變化的原理，通過(guò)檢測(cè)電容變化并轉(zhuǎn)換為標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)輸出，實(shí)現(xiàn)高精度真空測(cè)量。該產(chǎn)品具備高精度、高穩(wěn)定性、耐腐蝕、抗干擾強(qiáng)、響應(yīng)快速等顯著特點(diǎn)，測(cè)量與氣體成分無(wú)關(guān)，且擁有抗過(guò)載能力強(qiáng)、受環(huán)境影響小等優(yōu)勢(shì)。其類型多樣，接口與輸出豐富，可快速安裝并實(shí)現(xiàn)智能化控制。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏、真空鍍膜等眾多行業(yè)，在關(guān)鍵工藝控制中發(fā)揮重要作用。隨著真空技術(shù)發(fā)展，未來(lái)電容薄膜真空計(jì)將朝著更高精度、更寬量程、智能化、小型化與集成化方向持續(xù)演進(jìn)，以滿足各領(lǐng)域不斷升級(jí)的真空測(cè)量需求。
產(chǎn)品介紹
型號(hào)：CX-CFG500 類型：薄膜電容真空計(jì)
適用氣體：不限氣體種類 反應(yīng)時(shí)間：10ms
測(cè)量范圍：10pa ~1.0×10+5 Pa
供電：24 ±5 VDC /0.5A ；整機(jī)*大功耗1.0W
防護(hù)等級(jí)：IP40，IEC529
重量：250g 接口：標(biāo)準(zhǔn) KF16 法蘭
接觸真空的材料：SS304, SS316L, Kovar 4J50, 燈絲, 饋通玻璃
發(fā)展趨勢(shì)
隨著真空應(yīng)用技術(shù)的不斷發(fā)展，對(duì)電容薄膜真空計(jì)的要求也越來(lái)越高，未來(lái)發(fā)展趨勢(shì)包括進(jìn)一步提高測(cè)量精度和穩(wěn)定性、拓展量程范圍、增強(qiáng)智能化功能（如具備自動(dòng)校準(zhǔn)、故障診斷、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)和通信等功能）以及小型化、集成化等，以更好地滿足不同領(lǐng)域的應(yīng)用需求。
產(chǎn)品特點(diǎn)
高精度測(cè)量：±0.25%讀數(shù)對(duì)測(cè)量環(huán)境氣體不敏感
抗腐蝕、抗粉塵、抗氧化模擬電壓輸出：0.0～+10.0VDC
RS485 Modbus-RTU數(shù)字通訊
2路可設(shè)置控制開(kāi)關(guān)
3鍵智能操作
5位LED數(shù)字顯示
產(chǎn)品參數(shù)
參數(shù) 數(shù)值
測(cè)量范圍 10pa ~ 1.0×10+5 Pa
測(cè)量精度 ±0.25 % 讀數(shù)
測(cè)量重復(fù)性 ±0. 1% 全量程
測(cè)量分辨率 0.002% 全量程
長(zhǎng)期穩(wěn)定性 每年變化不大于滿量程 ±0.5 % （不含環(huán)境變化因素）
溫度補(bǔ)償范圍 -20º C ~ +80º C, ±0.01 %FS/ º C
工作環(huán)境 -10º C ~ +50º C； 5 ~ 85 %,不結(jié)露
供電電源 +24V（±20%）/0.5A（適用+5.0VDC至+32VDC）
電接口插座 D-Sub 15 Pin，公
真空腔體 接口：DN16ISO-KF（其他可選）；*大承壓：1.5×10+5 Pa
重量 250g （DN16ISO-KF法蘭）
產(chǎn)品尺寸
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
由于陶瓷材料的形變恢復(fù)無(wú)遲滯使得陶瓷薄膜電容規(guī)獲得高穩(wěn)定、高精度。
由于氧化鋁陶瓷與氟系密封件的穩(wěn)定性使得陶瓷薄膜電容規(guī)具有抗腐蝕、抗氧化能力。
由于采用機(jī)械形變傳感真空壓強(qiáng)使得陶瓷薄膜電容規(guī)對(duì)被測(cè)量氣體不敏感特點(diǎn)。
應(yīng)用場(chǎng)景
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